Ziel der Koordinatenmesstechnik ist es, schnell und präzise Aussagen über Geometrien treffen zu können. In der Produktion spielt sie eine wichtige Rolle. Bauteile, die einem Toleranzbereich unterliegen können so auf Passgenauigkeit überprüft werden. Dadurch ist eine gleichbleibende Qualität sichergestellt. Das Solar-Institut Jülich verfügt über eine Koordinatenmessmaschine der Firma DEA-Brown&Sharpe, Modell SCIROCCO-201009. Der Messarm lässt sich mithilfe der Messbrücke auf der x und y-Achse, sowie auf und ab über die z-Achse in dem gesamten Messbereich des Prüftisches bewegen. Er verfügt über ein Dreh- und Schwenkelement Renishaw PH10M und einen für taktile Messungen vorgesehenen Taster Renishaw TP20. 

Das SIJ verfügt außerdem über einen Laserscanner der Firma Nikon, Modell LC60Dx, um berührungslose Messungen mit dem Koordinatenmessgerät ebenfalls durchführen zu können. Der LC60Dx ist in der Lage bei einem Messbereich von 60 mm x 60 mm bis zu 75.000 Punkte/Sekunde zu erfassen. Der Antastfehler liegt bei ±9 µm. Mit der Software CAMIO sind wir in der Lage, Oberflächen- und geometrische Merkmale der Messobjekte auszuwerten sowie die generierten Punktwolken und Netzflächen zu analysieren.