Miniaturisierte Elektrolyt-Isolator-Halbleiter-Kondensatoren (EISCAPs) mit ultradünnen Gate-Isolatoren wurden hinsichtlich ihrer pH-empfindlichen Sensoreigenschaften untersucht. Hierzu wurden drei verschiedene EISCAP-Systeme bestehend aus Al-p-Si-Ta2O5(5 nm), Al-p-Si –Si3N4(1 oder 2 nm)–Ta2O5 (5 nm) und Al–p-Si–SiO2(3,6 nm)–Ta2O5(5 nm) Schichtstrukturen in Pufferlösung mit unterschiedlichen pH-Werten mittels Kapazität–Spannung und ConCap-Messverfahren charakterisiert.
Molinnus, D.; Iken, H.; Johnen, A.L.; Richstein, B.; Hellmich, L.; Poghossian, A.; Knoch, J.; Schöning, M.J., Miniaturized pH-Sensitive Field-Effect Capacitors with Ultrathin Ta2O5 Films Prepared bay Atomic Layer Deposition, Phys. Status Solidi A (2022), 2100660. doi.org/10.1002/pssa.202100660.